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BrukerDektakPro布魯克臺階儀DektakPro™以其多功能,使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng),具有4?重復(fù)性的表現(xiàn),并提供200毫米平臺選項(xiàng),在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。DektakPro在表面測量方面設(shè)立了新的目標(biāo),是微電子......
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臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信......
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優(yōu)勢一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率;二、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害,同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題;三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。......
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納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積.主要應(yīng)用半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、BondPads);存儲材料(磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層);光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN,......
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等離子刻蝕機(jī),又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中最常見的一種形式,其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材......