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bruker Dektak Pro臺階儀介紹
BrukerDektakPro布魯克臺階儀DektakPro™以其多功能,使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng),具有4?重復(fù)性的表現(xiàn),并提供200毫米平臺選項,在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。DektakPro在表面測量方面設(shè)立了新的目標(biāo),是微電子......
等離子體對材料產(chǎn)生作用的機理處于等離子狀態(tài)的物質(zhì)具有高而不穩(wěn)定的能量水平。如果等離子接觸到固體材料(如塑料和金屬),其能量將作用于固體表面,并導(dǎo)致物體表面的重要性質(zhì)(如表面能量)發(fā)生變化。在各項制造應(yīng)用領(lǐng)域,可以利用這一原理對材料的表面特性進(jìn)行有選擇地更改。使用等離子能量對物體表面進(jìn)行處理,能夠準(zhǔn)確且有針對性地提升材料......
等離子體是部分離化的中性氣體,在等離子體中自由電子與中性分子,原子進(jìn)行碰撞,通過碰撞電離,進(jìn)一步得到更多的電子和離子?;陔娮拥哪芰?,可以獲得更豐富的離子,激發(fā)態(tài)高能中性粒子等,同時由于電子吸附在中性氣體表面還可獲得負(fù)離子??涛g方法在塑料印刷和粘合時作為預(yù)處理手段是十分重要的,等離子蝕刻機用于刻蝕塑料表面,通過氧氣可以......
等離子去膠法,去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中,通入少量氧氣,加1500V高壓,由高頻信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號,使石英管內(nèi)形成強的電磁場,使氧氣電離,形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱?;罨酰ɑ顫姷脑討B(tài)氧)可以迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發(fā)性氣體,被機械泵抽走,這樣......
等離子去膠機是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備,主要用于光刻膠的剝離或灰化,也可用于有機及無機殘留物的去除,去除殘膠以及等離子刻蝕的應(yīng)用,清洗微電子元件、電路板上鉆孔或銅線框架,提高黏附性等,它的設(shè)計緊湊,占地面積小,設(shè)備運行穩(wěn)定可靠、易于維護(hù)、產(chǎn)能高。它的工藝簡單、效率高,處理后無酸氣廢水等殘留......
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